MKS液位传感器

MKS液位传感器

一、美国MKS公司简介
在MKS，他们有着悠久的历史，可以利用他们的集体好奇心来理解和开发解决方案，这些解决方案是许多关键技术创新的核心。这些创新推动了半导体，工业，生命与健康科学，研究和国防市场的加速路线图。他们的使命是成为创新的和可信赖的合作伙伴，以突破可能性的界限。创新是他们潜在的增长引擎–发明导致新产品的推出，从而导致设计获胜，从而带来长期收入。他们对创新的不懈关注始于花时间真正了解客户最复杂的问题，然后设计创新的解决方案来解决它们。

MKS Instruments与薄膜，加工制造，环境监测和生命科学行业的客户合作，为他们最严峻的技术挑战开发突破性的解决方案。他们的工作使他们的客户获得更大的成功，使他们的社会更加安全和高效。MKS成立于1961年，是一家成功而受人尊敬的公司。他们分为两个部门：真空和分析部门，在压力测量，功率，等离子体，流量，化学，自动化以及控制和分析方面拥有广泛的技术;以及光与运动部门，在激光，光子仪器，亚微米定位，振动隔离和光学方面拥有广泛的技术。

二、美国MKS部分产品介绍
1、美国MKS Micro-Baratron®高压，超净，单端压力传感器
①电容压力计是可以测量压力和真空度的机电式压力计。电容表将薄膜中的压力调制运动转换成与压力成比例的电信号。压力传感器是薄的隔膜，通过入口管暴露在压力或真空下。电极安装在隔膜后面的参考腔中。过程与参考腔之间的压力差会使隔膜稍微偏斜，从而改变了隔膜与电极之间的距离。该距离的变化会在隔膜和电极之间产生电容变化，从而产生与压力变化成比例的电信号。
②AA07A/AA08A传感器非常适合用于将超纯气体供入关键过程系统的输送系统。它们暴露在气流中的湿表面的表面光洁度比Ra好5µin。这些换能器具有出色的干燥特性，并且在背景以上没有颗粒。在制造和组装后，将它们用超净氮气吹扫，然后在100级环境中进行两次装袋。
③AA07A/AA08A中的传感器采用全Incoloy®结构，可实现较高的过压容限，从而减少了由于管路压力峰值而引起的误差。高爆破压力等级有助于整体系统安全。在现有的气柜和处理系统上，由于体积小，行业标准的端到端长度以及这些传感器的电气接口选择，使得更换普通百分表或性能较低的传感器变得容易。

2、美国MKS 624F 1-1,000 Torr，加热(45°C)带有脱扣点的绝对Baratron®电容压力计
①温度控制在45°C，读数精度为0.12%
②0至10 VDC模拟量输出，与绝对压力成比例
③两个可调过程跳闸点继电器
④直接测量总压力，与气体成分无关
⑤所有Inconel®传感器耐腐蚀湿表面
⑥集成式集液槽提供颗粒保护

3、美国MKS多气体，多量程，金属密封，50-50,000 sccm的质量流量控制器
①流量从5到50,000 sccm
②金属密封，带特氟龙阀塞
③多种数字(ItherCAT，DeviceNet™，Profibus®，PROFINET和RS485)或模拟(0-5 VDC或4-20 mA)I/O
④标准闭合电导泄漏率小于满量程的1.0%
⑤少于750毫秒的建立时间

4、美国MKS 901P MicroPirani™和压电式Loadlock真空压力传感器
①绝对压力测量范围为1,000至10-5托
②单个传感器中的3传感器功能可实现广泛的测量范围
③模拟，RS232，RS485和EtherCAT®版本
④可选的集成触摸屏显示器可用于本地压力指示
⑤快速，准确和可重复的压力测量缩短了处理周期
⑥具有快速响应时间的三个可选设定点，可实现可靠的过程控制

5、美国MKS GPCA通用压力控制器
①设定点精度的百分比可实现精确的过程控制
②温度补偿压力传感器保持精确度
③DeviceNet™，EtherCAT®或RS485通信
④嵌入式用户界面
⑤10µ英寸电抛光316L表面处理和金属密封，适用于高纯度应用

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